800扩散泵是否可以与其它泵一起使用?
浏览次数:172 发布于:2023-03-16
800扩散泵是一种广泛应用于半导体、光电子、平板显示等领域的高真空泵,通常用于抽取稀薄气体。
工作原理
800扩散泵是通过高速旋转的涡轮将气体分子加速运动,使之具有足够的动能,从而经过扩散阻挡板(DiffusionBaffle)获得高平均自由程而进行扩散,最后被导入到排气口,实现真空抽取。
具有什么优点?
800扩散泵有以下几个优点:高抽速,极低的后压,内部结构简单,适用范围广,对于对气体压缩比要求不高的情况非常适用。
适用范围是什么?
800扩散泵适用于真空度要求较高、气体压缩比较小的场合,主要应用于半导体制造、光电子、涂层镀膜、真空冷却、真空热处理等领域。
如何安装?
在安装800扩散泵时,要注意泵与管道的连接需要采用专用法兰或密封垫圈,并且安装时应该采取悬挂或脚座支撑的方式来固定泵的位置,同时也需要根据实际情况连接进出口管道。
如何进行维护保养?
在使用800扩散泵的过程中,需要定期清洗泵体内部,检查旋转部件是否转动灵活,同时对泵的密封性能进行检查,对于出现问题的泵,需要进行及时的更换和修理。
使用注意事项
在使用800扩散泵时,需要注意以下几点:首先,使用过程中应该按照规定的电气参数进行操作,不得超负荷使用;其次,要使用滤芯或捕集器防止灰尘出现在泵内部;最后,在运行中应该保持泵体内部的清洁,避免泵运转故障。
为什么选择800扩散泵?
800扩散泵适用范围广泛,抽气速度高、压缩比小,可以满足各种真空抽取的需求,因此被广泛应用于半导体、光电子、涂层镀膜等领域,是一种很好的真空抽取设备。