扩散泵是一种用于高真空体系下加压和排气的设备，被广泛应用于半导体设备制造、真空冶金、材料经营等领域。扩散泵油种类多样，从矿物油、硅油、烷基化合物到液态聚甲基丙烯酸甲酯，齐备了各种对应的油。

矿物油

矿物油是一种常见的扩散泵油，通常由铸铁或铜等材料作为润滑剂添加剂。矿物油的好处是它可以以极高的温度工作，同时广发容易得到和取代。

硅油

硅油是造价昂贵的扩散泵油，但它是一种广泛使用的高真空体系的润滑材料。硅油的显著优点是它优异的耐腐蚀性，对高真空体系的建设很有帮助。

烷基化合物

烷基化合物是一种脂肪醇衍生物，通常用于气体系统中的扩散泵。烷基化合物在高真空体系下排放出的气体数量较少，因此可以保持高水准的真空度。

液态聚甲基丙烯酸甲酯

液态聚甲基丙烯酸甲酯是现代半导体工业中的一种新型扩散泵油，被称作“无油清洗”，因为它在永不凝固的液体状态下工作，因此可以避免熔解或全面油污的风险。

扩散泵的维护

定期检查扩散泵是保持其出色运作所必要的。您应该试着避免工具或其他硬物搞破连接或应用扩散泵，不要将其放在过于先进的温度间隔中，同时经常注油。

扩散泵保持

无论是哪种扩散泵油，您都必须遵循一些防范操作才能保持它有效而安全。一个标准的技巧是使用油密封中的微小气泡。由于压缩的气泡被润滑油填充，因此术后起到了有效的减震和体系稳定的作用。

扩散泵的升级

在您的半导体工业检修和升级趋向在加速，现代扩散泵设计也在深化研究。例如，一种新型扩散泵油已采用亨利定律作为其模型，这让它能够解决更为精确的压力限制问题。

扩散泵类型的改善

除了升级扩散泵油之外，制造商也趋向于更精确地根据客户的需求设计，绘制和制造不同类型的扩散泵。一些最新的扩散泵已经失去了过去扩散泵的外形并极大地改善了其附加设备。

扩散泵的应用领域

随着检验方法和工制程的应用，扩散泵正被越来越广泛地应用于许多不同的领域。例如，它们通常在高度敏感的气体柱中使用，例如巨型望远镜，以防止空气干扰。

扩散泵在环境保护方面的作用

考虑到这种泵能提供高度真空，因此它也在环保领域中被广泛应用。扩散泵通常在高频喷涂、化学制品制造和废气处理中使用，以减少有害气体的排放。