ARZUFFI发电机BDS-MF系列
浏览次数:217      发布于:2023-11-08

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Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器,其正弦输出电压为40 kHz,*大功率输出为5 kW或10 kW,专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。
  该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电*的平衡型。
  典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。
  一个特点是内部输出的高压变压器,带有两个插座,以适应等离子体阻抗。
  该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。
  ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数:

 

  BDS-MF5K BDS-MF10K
输出功率 负载为2000欧姆负载时为5 kWatt 负载为2000欧姆负载时为10 kWatt
供电电压 3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ,10A
(L1,L2,L3,PE)
3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ,18 A(L1,L2,L3,PE)
尺寸 抽屉19英寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度 抽屉19英寸机架,4UI高度(177毫米)540毫米深度
重量 20KG铝制容器 20KG铝制容器
冷却 空气冷却,**散热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作 空气冷却,**散热器,该装置可在高达40°C的环境温度下工作
输出电压 在2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V 在2000欧姆负载时,tap2上的电压高达5000V
输出电流 TAP1上*高3.5 A,TAP2上*高2.5A TAP1上*高3.5 A,TAP2上*高2.5A
输出连接器 2个Fischer 105连接器上的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆 2个Fischer 105连接器上的平衡输出,用于RG214 / U同轴电缆
等离子点火电压 大于5500 VRMS 大于5500 VRMS
电弧识别电路 过流一次回路,反应时间1微秒 过流一次回路,反应时间1微秒
接口 DB25连接器,模拟10V信号,24V数字
引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©
RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
DB25连接器,模拟10V信号,24V数字
引脚排列,兼容ADVANCED ENERGY PEII©
RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
前面板 LCD显示2×40个字符 LCD显示2×40个字符
测量电路 RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率 RMS电压,RMS电流,负载上提供的有功功率
调节电路 动力 动力
高压输出变压器 两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载 两个Tap1输出插座,用于1000欧姆负载,Tap2用于2000欧姆负载
合规 EC可根据要求提供符合性声明 EC可根据要求提供符合性声明

 

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