德国 PIEZOSYSTEM JENA 校准干涉仪SP 15000 C
浏览次数:337      发布于:2023-06-14
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JENA成立于1991年,是压电机械纳米定位系统和相应的电子设备(如压电驱动器和放大器)的领先制造商之一。PIEZOSYSTEM
JENA为全球客户提供创新的高精度纳米定位设备。他们的压电执行器和压电驱动器,纳米定位解决方案,压电控制器和运动控制系统可用于需要最高精度和高动力的微定位和纳米定位应用。除了种类繁多的目录产品外,还提供客户特定的开发,以为某些应用提供优化的系统。20多年来,他们为自动化技术,汽车工业,生物技术,电子,计量,激光技术,材料测试,机械加工,医疗应用,显微成像,显微镜,微操纵和半导体工业领域的OEM客户提供服务。  PIEZOSYSTEM JENA校准干涉仪SP 15000 C  测量和校准干涉仪SP 15000 C的测量范围至少为15 m,设计用于在定位轴上进行高精度的长度,角度和直线度测量。可以进行连续的5
DOF同步测量。轴直线度的水平和垂直分量由可旋转的光学器件测量。测量反射镜是基于空心反射镜和可旋转的沃拉斯顿棱镜的组合。其他附件包括直线度镜和90°光束偏转。
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