ULVAC全名为UltimateE-VacuumAdvance.Co.,Ltd.，是一家拥有百年历史的日本真空泵制造商，专注于生产各种高性能、高品质的真空泵产品，并饱和了市场，同时也是世界知名的真空泵品牌之一。ULVAC真空泵在半导体、电子、冶金、化工、医药等领域都广泛应用，其产品质量、可靠性、性能方面均堪称一流，是值得信赖的高品质真空泵制造商。

产品介绍

ULVAC真空泵是一种高压力真空泵，它采用离心压缩机和惯性离子泵两种功能融合的技术，具有较广泛的使用范围和较好的可靠性，被广泛应用于半导体、显示、太阳能等领域的真空制造工艺中。其特点是能够在大气压力级别的真空中作用，排放的压缩空气具有高品质和稳定性，且容易维护和清洁。

产品特点

采用不锈钢或高纯铝制造，能承受高温高压的使用环境；

低振动、低噪音的特点，不仅使用寿命长，而且能够帮助企业节省电力成本；

安全可靠：采用蜗轮，杠杆等机械原理，易于操作和维护；

具有良好的防爆性能，在爆炸危险的生产环境中能够发挥良好的作用。

产品参数

220/380V

3～90kw

6～1000m³/h

应用领域

在半导体生产中，需要在光刻机、薄膜渗透机等设备中使用真空泵进行压力控制；

血液透析机等医疗设备中也需要使用真空泵；

在硅片制造时使用真空泵进行所需要的压力控制，确保材料的纯度和质量。

常见故障及维修

轴承长时间在高速和高温的环境下运行，容易出现耗损，导致轴承松动，这时需要将轴承依次加压固定；

漏气往往是由于密封不良或真空泵喷嘴的磨损所造成的，维修时需要寻找泄漏点，更换密封圈或喷嘴；

电机的损坏进入水或灰尘会导致电机故障，此种故障需要及时维修或更换电机。

如何选购合适的ULVAC真空泵

根据所处的使用环境和工作要求来选择合适的真空泵型号；

根据工作需求，需求相对应的功率和流量之间进行选择；

使用范围和维护难度来选择适合的产品。

如何维护ULVAC真空泵

定期将真空泵进行清洁处理，防止灰尘积累、沉积物清理不净而影响使用效果；

定期将真空泵进行维修和保养，适时更换易损件和防止发生磨损；

使用真空泵时，要注意使用说明，在操作时根据说明书上的指导操作。